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[산업일보]
반도체 생산량 증가와 용인 클러스터 가동 예정 등으로 초순수(Ultra Pure Water) 원수 다원화가 가시화된 가운데, 이를 지원할 계측 솔루션이 ‘제48회 국제환경산업기술&그린에너지전(ENVEX 2026·엔벡스)’에 등장했다. 수질 분석 전문기업 주식회사 젬마는 독일 DOC 라보어(DOC-Labor) 사와 공동 개발한 저분자 유기물 온라인 분석 시스템을 선보였다.
초순수란 무기질, 미립자, 박테리아, 유기물 등 물속에 포함된 불순물을 정밀 기술로 제거해 고순도로 정제한 물을 뜻한다. 전기도 통하지 않을 만큼 순수한 상태의 물로, 주로 반도체 웨이퍼 세정 공정 등에 대량으로 사용된다.
젬마의 ‘Online LC-OCD-OND’는 이 초순수 내에 존재하는 저분자 유기물을 실시간 연속 측정하는 솔루션이다. 액체 크로마토그래피(LC)와 유기탄소·질소 검출기(OCD·OND)를 결합해, 기존 총유기탄소(TOC) 분석기로는 감지하기 어려운 미량의 유기물 성분을 6개 분획으로 분류한다.
관계자는 “특히 하·폐수 재이용수 도입 시 반도체 수율 저하를 유발할 수 있는 요소(Urea)를 1ppb(Parts Per Billion·10억 분의 1) 수준의 감도로 검출한다”며 “반도체 미세공정에서 웨이퍼 불량을 유발하는 오염물질의 이동 경로를 사전에 추적하고 관리하는 데 도움을 준다”고 설명했다.
이어 “기존 실험실 정밀 분석 방식은 채수 과정에서 인체의 땀이나 호흡으로 샘플이 오염될 가능성이 있었다”며 “이 시스템은 공정에 직접 연결하는 자동 시료 공급 기반의 온라인 모니터링 구조로 오염 가능성을 낮췄다”고 말했다.
26개국 316개 기업이 참여한 이번 엔벡스 행사는 서울 삼성동 코엑스에서 20일부터 사흘간 열렸다.
