아센디아, 일체형 RF 전력 제어 솔루션 ‘Unity X’ 공개

[산업일보]
반도체 RF 부품 전문 기업 아센디아(ASENDIA)가 ‘세미콘 코리아 2026(SEMICON KOREA 2026)’에 참가해 통합 일체형 RF(Radio Frequency, 고주파) 전력 제어 시스템 ‘Unity X’를 공개했다.

반도체 웨이퍼 제조 과정 중 식각(Etching) 공정에서 플라즈마(Plasma)는 웨이퍼 표면을 나노미터 단위로 가공하는 핵심 요소로 작용한다.

가장 보편적인 반도체 제조용 플라즈마 생성 방법인 RF 방식은 챔버에 RF 전력을 공급하는 ‘RF GENERATOR’를 외부 공간에 설치하고, 플라즈마 상태 변화에 맞춰 임피던스 매칭(Impedance Matching)하는 ‘RF MATCHER’를 챔버 위에 장착한 뒤 동축 케이블로 연결해 사용한다. 그러나 소형화와 공간 효율성이 현장의 핵심 과제로 떠오르면서 집약된 구조의 RF 전력 제어 솔루션이 요구됐다.

세미콘 코리아 2026에서 아센디아가 선보인 Unity X는 이러한 시장의 추세에 대응해, RF GENERATOR와 RF MATCHER를 하나로 통합한 장비다. 외부에 전력 공급을 위한 공간을 마련하지 않아도 되고, 동축 케이블도 필요 없다.

아센디아 관계자는 “플라즈마 생성을 위해 필요했던 두 개의 공간을 하나로 줄여 공간 효율을 높일 수 있다”라며 “하나의 장비에 두 가지 기능을 합치면서 발생할 수 있는 열 관리 문제를 해결한 것이 핵심 기술력”이라고 설명했다.

그는 “이번 전시회를 통해 새롭게 선보이는 제품”이라며 “시장의 요구에 맞춰 지속적으로 소형화할 계획이다”라고 밝혔다.

한편, 세미콘 코리아 2026은 서울 코엑스(COEX) 전관에서 13일까지 개최되며 반도체 산업의 한계를 보완하는 다채로운 기술을 소개한다.