티로보틱스(T-ROBOTICS), 이중 평행링크 로봇암으로 오염차단과 속도 향상 효과 제시

[산업일보]
반도체와 디스플레이는 각각 실리콘과 유리를 기판으로 사용하지만, 복잡한 식각과 코팅 공정을 진공 상태에서 반복한다는 공통점을 갖고 있다. 이에 따라 공정에 투입되는 로봇 역시 높은 정밀도와 빠른 동작 성능이 요구된다.

로봇 전문 기업인 티로보틱스(T-ROBOTICS)는 22일 개막해 24일까지 서울 코엑스에서 열리는 ‘K-Display 2026(한국디스플레이산업전시회)’에서 시장의 요구를 반영한 이중 평행링크 로봇암을 출품했다.

전시회에 맞춰 개최된‘K-Display Award’에서 장관상을 수상하기도 한 이 제품은 암 처짐과 진동을 원천 차단해 최대 500℃의 고온과 고진공 환경에서도 최대 240kg의 물체를 정밀하고 빠르게 이송할 수 있다.

특히, 회전 반경을 최소로 설계해 제조현장 구축 시 필요한 공간을 줄였으며, 진공 환경을 유지하기 위해 Sealing 기술과 미세 가스 방출을 막는 Outgassing 억제 기술을 적용했다.

티로보틱스의 이수종 부사장은 “디스플레이 가공이 이뤄지는 챔버 안에는 유독가스를 비롯해 관리가 어려운 환경적 요소들이 존재한다”며 “아주 좁은 문을 통해 빠르게 로봇의 손가락만 이용해 기판을 이동시키는 것이 티로보틱스의 기술”이라고 말했다.

그는 “이중 평행링크 기술을 적용할 경우 같은 힘이 작용하더라도 변동을 절반 수준으로 줄일 수 있다”며 “로봇의 크기에 따라 다르지만 3m에서 7m까지 로봇암의 길이를 조절할 수 있다”고 소개했다.

티로보틱스의 이중 평행링크 로봇암은 2021년부터 개발을 시작했으며, 향후 유리 기판의 양산을 염두에 둔 선행 개발도 진행 중이다.

이 부사장은 “티로보틱스는 원래 반도체 관련 진공로봇을 개발해 왔던 기업으로 2007년부터 디스플레이 로봇도 함께 만들기 시작했다”며 “현재 국내 10건, 해외 33건의 특허를 확보하고 있다”고 언급했다.

이 부사장은 “현재 전 세계적으로 디스플레이 관련 로봇을 생산하는 기업은 티로보틱스를 포함해 3개사가 있는데, 티로보틱스는 CVD(화학기상증착)와 Sputter(물리기상증착)분야에서 강세를 보이고 있다”며 “앞으로 타사가 강세를 보이는 분야도 공략을 이어갈 계획”이라고 밝혔다.