SMI, 3중 자동 화학물 공급 시스템으로 반도체 제조 공정 효율 개선 SK하이닉스에 1천 대 이상 납품하면서 기술력 인정받아 반도체의 제조 과정에서 사용되는 화학물질의 상당수는 인체에 노출될 경우 인명피해는 물론 폭발사고로까지 이어질 수 있다. 이에 사람의 손을 거치지 않고 자동으로 해당 물질들을 공급할 수 있는 장비의 수요가 높아지고 있다.한국SEMI 주최로 서울 코엑스에서 11일 개막해 사흘간 열린 ‘세미콘코리아 2026(SEMICON KOREA 2026)'에 참가한 SMI(에스엠아이)는 2004년 설립 이후 20여 년 간 반도체 부품 공급, 공정 셋업, 유지보수 및 시스템 개선 분야까지 통합 솔루션을 제공하고 있다.이번 전시회에서 SMI는 LDS(Liquid chemical Delivery System)제품군 중 ‘3중 화학물질 공급 시스템’인 ‘TCSS-300H Ex’를 중점적으로 소개했다.SMI의 설명에 따르면 해당 제품은 3개의 ICSS 유닛을 하나의 LDS 구성으로 개발됐으며, 제어 박스를 하나로 통합해 면적을 최소화했다. 내부에는 3개의 리필 벌크 탱크와 공정용 탱크로 구성됐으며, 각 셀(cell)당 3종 프리커서 공급이 가능하고 자동 충전 공급 시스템을 통한 제어도 이뤄진다.SMI의 최종택 차장은 “타사에도 이와 비슷한 제품이 있지만, SMI의 제품은 SK하이닉스에 1천 대 이상을 납품해 안정적으로 운용돼 이미 기술력을 인정받았다”고 언급한 뒤 “정부에서 용인에 반도체 클러스터를 조성하는 것에 맞춰 본사도 올해 말에는 용인으로 이전할 계획”이라고 밝혔다.

SMI, 3중 자동 화학물 공급 시스템으로 반도체 제조 공정 효율 개선

SK하이닉스에 1천 대 이상 납품하면서 기술력 인정받아

기사입력 2026-02-15 09:39:23

[산업일보]
반도체의 제조 과정에서 사용되는 화학물질의 상당수는 인체에 노출될 경우 인명피해는 물론 폭발사고로까지 이어질 수 있다. 이에 사람의 손을 거치지 않고 자동으로 해당 물질들을 공급할 수 있는 장비의 수요가 높아지고 있다.

한국SEMI 주최로 서울 코엑스에서 11일 개막해 사흘간 열린 ‘세미콘코리아 2026(SEMICON KOREA 2026)'에 참가한 SMI(에스엠아이)는 2004년 설립 이후 20여 년 간 반도체 부품 공급, 공정 셋업, 유지보수 및 시스템 개선 분야까지 통합 솔루션을 제공하고 있다.

이번 전시회에서 SMI는 LDS(Liquid chemical Delivery System)제품군 중 ‘3중 화학물질 공급 시스템’인 ‘TCSS-300H Ex’를 중점적으로 소개했다.

SMI의 설명에 따르면 해당 제품은 3개의 ICSS 유닛을 하나의 LDS 구성으로 개발됐으며, 제어 박스를 하나로 통합해 면적을 최소화했다. 내부에는 3개의 리필 벌크 탱크와 공정용 탱크로 구성됐으며, 각 셀(cell)당 3종 프리커서 공급이 가능하고 자동 충전 공급 시스템을 통한 제어도 이뤄진다.

SMI의 최종택 차장은 “타사에도 이와 비슷한 제품이 있지만, SMI의 제품은 SK하이닉스에 1천 대 이상을 납품해 안정적으로 운용돼 이미 기술력을 인정받았다”고 언급한 뒤 “정부에서 용인에 반도체 클러스터를 조성하는 것에 맞춰 본사도 올해 말에는 용인으로 이전할 계획”이라고 밝혔다.

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김진성 기자 weekendk@kidd.co.kr

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안녕하세요~산업1부 김진성 기자입니다. 스마트공장을 포함한 우리나라 제조업 혁신 3.0을 관심깊게 살펴보고 있으며, 그 외 각종 기계분야와 전시회 산업 등에도 한 번씩 곁눈질하고 있습니다.