[산업일보]
제조 현장에서 검사장비는 제조 공정 중간의 오류를 잡아내는 것은 물론 완성품의 품질을 균일하게 유지하도록 해 시장에서의 경쟁력 강화에 반드시 필요하다. 이에 최근 들어서 이러한 검사장비들도 고도화를 거듭하고 있다.
쎄크(SEC)는 1991년 설립된 이래 X-ray 기술을 기반으로 하는 검사장비 전문 기업으로 성장해 왔다. 이에 세크는 한국SEMI주최로 11일부터 13일까지 한국 코엑스에서 열린 ‘세미콘 코리아 2026(SEMICON KOREA 2026)'에서도 자사의 검사 기술을 선보였다.
이번 전시회에서 쎼크가 중점적으로 소개한 장비는 기존 3D X-ray 검사 시간을 획기적으로 단축한 ‘SEMI SCAN'이다. 세크는 이 장비를 3월 말에 공개하는 것을 목표로 막바지 개발에 박차를 가하고 있다.
쎄크의 관계자는 “HBM 등을 기존 X-ray 3D 장비를 활용해 촬영할 경우 30~40분 가량의 시간이 걸렸는데, SEMI SCAN은 현재 3분 정도로 촬영 시간을 단축시키면서도 기존의 촬영 장비와 비슷한 결과가 나온다”며 “검출 사이즈도 최대 5마이크로미터까지 검사가 가능하도록 개발 중”이라고 말했다.
이 관계자는 “HBM 쪽을 볼 때 적층구조와 접합이 잘 됐는지, 그리고 폴 보이드나 범프 사이즈 등을 많이 보는데 이쪽도 측정이 잘 되도록 개발하고 있다”며 “목표는 측정 시간을 30초대로 줄이는 것”이라고 밝혔다.