니콘, 공초점 기반 고속 화상 측정 솔루션 제시…“X·Y·Z축 측정 한 번에” 세미콘 코리아서 공초점 화상 측정기 ‘NEXIV VMF-K 시리즈’ 소개 니콘(Nikon)이 11일부터 13일까지 서울 코엑스(COEX)에서 열린 ‘세미콘 코리아 2026(SEMICON KOREA 2026)’에 참가해 공초점(Confocal) 광학계를 탑재한 화상 측정기 ‘NEXIV VMF-K 시리즈’를 선보였다. 공초점 광학은 핀홀(Pinhole)을 사용해 초점이 맞지 않는 외부의 빛을 차단하고 고해상도와 높은 대비를 구현하는 기술이다. 장비는 이 광학 기술에 기반해 고대비 재질과 투명 재료의 면과 높이를 정확하게 분석하고, 복잡한 형상과 미세한 구조를 안정적으로 검사할 수 있어 반도체 및 소형화 부품 검사에 적합하다. 가장 큰 특징은 고속 측정이다. 기준점을 설정하면 광학계 시야 범위 내 모든 지점의 가로·세로·높이(X·Y·Z축) 정보를 동시에 취득할 수 있다. 니콘 관계자는 “신속한 측정과 높이·단차 분석에 특화된 범용 장비로, 초 단위의 측정 작업이 가능하다”라고 말했다. 그는 “니콘은 전통적인 반도체 노광 장비 제조사로, 제품 생산 후 필수적인 QA(품질 보증) 단계에 사용하는 측정 장비도 지속 개발하고 있다”라며 “세미콘 코리아 2026에서는 신규 디지털 노광 장비 ‘DSP-100’으로 생산한 유리 기판을 해당 장비로 직접 측정하는 시연을 마련했다”라고 밝혔다.

니콘, 공초점 기반 고속 화상 측정 솔루션 제시…“X·Y·Z축 측정 한 번에”

세미콘 코리아서 공초점 화상 측정기 ‘NEXIV VMF-K 시리즈’ 소개

기사입력 2026-02-18 13:08:29

참관객들이 니콘의 ‘NEXIV VMF-K 시리즈’ 장비를 살펴보고 있다.

[산업일보]
니콘(Nikon)이 11일부터 13일까지 서울 코엑스(COEX)에서 열린 ‘세미콘 코리아 2026(SEMICON KOREA 2026)’에 참가해 공초점(Confocal) 광학계를 탑재한 화상 측정기 ‘NEXIV VMF-K 시리즈’를 선보였다.

공초점 광학은 핀홀(Pinhole)을 사용해 초점이 맞지 않는 외부의 빛을 차단하고 고해상도와 높은 대비를 구현하는 기술이다. 장비는 이 광학 기술에 기반해 고대비 재질과 투명 재료의 면과 높이를 정확하게 분석하고, 복잡한 형상과 미세한 구조를 안정적으로 검사할 수 있어 반도체 및 소형화 부품 검사에 적합하다.

가장 큰 특징은 고속 측정이다. 기준점을 설정하면 광학계 시야 범위 내 모든 지점의 가로·세로·높이(X·Y·Z축) 정보를 동시에 취득할 수 있다.

니콘 관계자는 “신속한 측정과 높이·단차 분석에 특화된 범용 장비로, 초 단위의 측정 작업이 가능하다”라고 말했다.

니콘의 노광장비 ‘DSP-100’으로 생산한 유리 기판 측정 시연 모습

그는 “니콘은 전통적인 반도체 노광 장비 제조사로, 제품 생산 후 필수적인 QA(품질 보증) 단계에 사용하는 측정 장비도 지속 개발하고 있다”라며 “세미콘 코리아 2026에서는 신규 디지털 노광 장비 ‘DSP-100’으로 생산한 유리 기판을 해당 장비로 직접 측정하는 시연을 마련했다”라고 밝혔다.

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김대은 기자 kde125@kidd.co.kr

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