[심토스 2022] 간섭 측정법 적용…조도·두께·단차 측정 넥센서, SIMTOS 2022에서 현미경 간섭계 센서 선보여 심토스(SIMTOS) 2022에 참가한 넥센서(nexensor)가 현미경 간섭계 센서를 비롯해 다양한 측정 솔루션을 참관객들에게 소개했다. 이 회사 성현석 영업이사는 “간섭 측정법을 적용한 현미경 간섭계 센서 nXI-5는 작은 영역을 대상으로 정밀한 측정이 가능하다. 조도·두께·단차 측정이 가능해 반도체의 미세 구조 측정, 범프, 거칠기, 디스플레이의 컬럼 스페이서, 표면 구조 등을 측정할 수 있다”라고 했다. 그는 조도 측정시 비접촉 방식을 채택했다고 소개했다. “조도 측정의 경우 기존에는 접촉식을 많이 사용해 왔지만 접촉식 조도 측정의 경우 표면에 스크래치를 발생시킬 수 있는 우려가 있다"라며, 이러한 관련 업계의 이슈에 대응하기 위해 비접촉방식으로 측정하는 장비를 개발했다고 밝혔다. 한편, 심토스 2022는 일산 킨텍스 1, 2전시장에서 23일부터 27일까지 닷새간의 일정으로, 다양한 생산제조기술과 관련 장비를 선보인다.

[심토스 2022] 간섭 측정법 적용…조도·두께·단차 측정

넥센서, SIMTOS 2022에서 현미경 간섭계 센서 선보여

기사입력 2022-05-25 12:06:39

[산업일보]
심토스(SIMTOS) 2022에 참가한 넥센서(nexensor)가 현미경 간섭계 센서를 비롯해 다양한 측정 솔루션을 참관객들에게 소개했다.

이 회사 성현석 영업이사는 “간섭 측정법을 적용한 현미경 간섭계 센서 nXI-5는 작은 영역을 대상으로 정밀한 측정이 가능하다. 조도·두께·단차 측정이 가능해 반도체의 미세 구조 측정, 범프, 거칠기, 디스플레이의 컬럼 스페이서, 표면 구조 등을 측정할 수 있다”라고 했다.

그는 조도 측정시 비접촉 방식을 채택했다고 소개했다. “조도 측정의 경우 기존에는 접촉식을 많이 사용해 왔지만 접촉식 조도 측정의 경우 표면에 스크래치를 발생시킬 수 있는 우려가 있다"라며, 이러한 관련 업계의 이슈에 대응하기 위해 비접촉방식으로 측정하는 장비를 개발했다고 밝혔다.

한편, 심토스 2022는 일산 킨텍스 1, 2전시장에서 23일부터 27일까지 닷새간의 일정으로, 다양한 생산제조기술과 관련 장비를 선보인다.

[심토스 2022] 간섭 측정법 적용…조도·두께·단차 측정

넥센서, SIMTOS 2022에서 현미경 간섭계 센서 선보여

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