[심토스 2022] 간섭 측정법 적용…조도·두께·단차 측정 넥센서, SIMTOS 2022에서 현미경 간섭계 센서 선보여 심토스(SIMTOS) 2022에 참가한 넥센서(nexensor)가 현미경 간섭계 센서를 비롯해 다양한 측정 솔루션을 참관객들에게 소개했다.이 회사 성현석 영업이사는 “간섭 측정법을 적용한 현미경 간섭계 센서 nXI-5는 작은 영역을 대상으로 정밀한 측정이 가능하다. 조도·두께·단차 측정이 가능해 반도체의 미세 구조 측정, 범프, 거칠기, 디스플레이의 컬럼 스페이서, 표면 구조 등을 측정할 수 있다”라고 했다.그는 조도 측정시 비접촉 방식을 채택했다고 소개했다. “조도 측정의 경우 기존에는 접촉식을 많이 사용해 왔지만 접촉식 조도 측정의 경우 표면에 스크래치를 발생시킬 수 있는 우려가 있다라며, 이러한 관련 업계의 이슈에 대응하기 위해 비접촉방식으로 측정하는 장비를 개발했다고 밝혔다.한편, 심토스 2022는 일산 킨텍스 1, 2전시장에서 23일부터 27일까지 닷새간의 일정으로, 다양한 생산제조기술과 관련 장비를 선보인다.

[심토스 2022] 간섭 측정법 적용…조도·두께·단차 측정

넥센서, SIMTOS 2022에서 현미경 간섭계 센서 선보여

기사입력 2022-05-25 12:06:39

[산업일보]
심토스(SIMTOS) 2022에 참가한 넥센서(nexensor)가 현미경 간섭계 센서를 비롯해 다양한 측정 솔루션을 참관객들에게 소개했다.

이 회사 성현석 영업이사는 “간섭 측정법을 적용한 현미경 간섭계 센서 nXI-5는 작은 영역을 대상으로 정밀한 측정이 가능하다. 조도·두께·단차 측정이 가능해 반도체의 미세 구조 측정, 범프, 거칠기, 디스플레이의 컬럼 스페이서, 표면 구조 등을 측정할 수 있다”라고 했다.

그는 조도 측정시 비접촉 방식을 채택했다고 소개했다. “조도 측정의 경우 기존에는 접촉식을 많이 사용해 왔지만 접촉식 조도 측정의 경우 표면에 스크래치를 발생시킬 수 있는 우려가 있다"라며, 이러한 관련 업계의 이슈에 대응하기 위해 비접촉방식으로 측정하는 장비를 개발했다고 밝혔다.

한편, 심토스 2022는 일산 킨텍스 1, 2전시장에서 23일부터 27일까지 닷새간의 일정으로, 다양한 생산제조기술과 관련 장비를 선보인다.