한국알박크라이오(주), 세미콘코리아 2022에서 프로토타입 크라이오펌프 공개 반도체, 디스플레이 공정의 수분 이슈 해결사로 나선다 한국알박크라이오(ULVAC CRYOGENICS KOREA)는 세미콘코리아(SEMICON KOREA 2022)에 참가해 성능이 보다 강화된 크라이오펌프(CRYO Pump)를 선보였다.개발의 막바지 있다는 이 회사의 크라이오펌프 신모델(CRYO-U8SLS/C)은 점점 더 고도화되는 반도체공정 및 디스플레이공정에 맞도록 사용자 편의성과 성능을 강해 올해 상반기 중 출시 예정으로, 전시장에는 프로토타입(Prototype)으로 전시했다.이 회사 원순호 선임은 “SEMICON KOREA 2022에서 프로타입으로 전시한 크라이오펌프는 극저온 기술을 적용한 고진공 펌프”라며, “펌프의 아래쪽에는 극저온 냉동기가 달려 있는데, 냉동기가 20K(켈빈) 때 250도까지 냉동시켜서, 흡기구쪽으로 유입된 기체들을 냉각(흡착) 후 배기하는 방식”이라고 말했다.또한 “크라이오펌프는 수분 이슈가 있는 FPD(Flat Panel Display), OLED 공정에 많이 사용하고 있고 반도체 공정에서는 박막공정, 메탈배송공정, 패키징 공정 등에서 도입이 확대되고 있다”고 덧붙였다.이 프로토타입 제품은 I/O 모듈 등을 통해 자동 운영체제도 구현할 수 있다. 이 회사의 전시 패널을 보면, 통신 인터페이스를 통해 온도 제어밸브를 제어할 수 있으며, 다양한 유형의 크라이오펌프와도 호환이 가능하다고 밝히고 있다. 탄소중립 목표 실현을 위해 장비 분야에서도 에너지효율화에 대한 부분이 강조되면서 이 회사는 컴프레서와 함께 크라이오펌프 시스템을 구축하면 에너지 절감을 실현할 수 있다고 참관객들에게 소개했다.

한국알박크라이오(주), 세미콘코리아 2022에서 프로토타입 크라이오펌프 공개

반도체, 디스플레이 공정의 수분 이슈 해결사로 나선다

기사입력 2022-02-11 09:03:32

[산업일보]
한국알박크라이오(ULVAC CRYOGENICS KOREA)는 세미콘코리아(SEMICON KOREA 2022)에 참가해 성능이 보다 강화된 크라이오펌프(CRYO Pump)를 선보였다.

▲ 세미콘코리아(SEMICON KOREA) 2022에 전시된 한국알박크라이오의 프로토타입 크라이오펌프(CRYO Pump, 사진 맨오른쪽)와 컴프레서(사진 가운데)

개발의 막바지 있다는 이 회사의 크라이오펌프 신모델(CRYO-U8SLS/C)은 점점 더 고도화되는 반도체공정 및 디스플레이공정에 맞도록 사용자 편의성과 성능을 강해 올해 상반기 중 출시 예정으로, 전시장에는 프로토타입(Prototype)으로 전시했다.

이 회사 원순호 선임은 “SEMICON KOREA 2022에서 프로타입으로 전시한 크라이오펌프는 극저온 기술을 적용한 고진공 펌프”라며, “펌프의 아래쪽에는 극저온 냉동기가 달려 있는데, 냉동기가 20K(켈빈) 때 250도까지 냉동시켜서, 흡기구쪽으로 유입된 기체들을 냉각(흡착) 후 배기하는 방식”이라고 말했다.

또한 “크라이오펌프는 수분 이슈가 있는 FPD(Flat Panel Display), OLED 공정에 많이 사용하고 있고 반도체 공정에서는 박막공정, 메탈배송공정, 패키징 공정 등에서 도입이 확대되고 있다”고 덧붙였다.

이 프로토타입 제품은 I/O 모듈 등을 통해 자동 운영체제도 구현할 수 있다. 이 회사의 전시 패널을 보면, 통신 인터페이스를 통해 온도 제어밸브를 제어할 수 있으며, 다양한 유형의 크라이오펌프와도 호환이 가능하다고 밝히고 있다.

탄소중립 목표 실현을 위해 장비 분야에서도 에너지효율화에 대한 부분이 강조되면서 이 회사는 컴프레서와 함께 크라이오펌프 시스템을 구축하면 에너지 절감을 실현할 수 있다고 참관객들에게 소개했다.