[산업일보]
국내 최대 반도체 산업 전시회 '세미콘 코리아 2022'가 9일부터 11일까지 일정으로 서울 코엑스에서 열리고 있다.
반도체 생산 관련 장비와 재료, 부품, 각종 Sub-System·Facility 소프트웨어 기업들이 대거 참여한 가운데, 진공 펌프 및 가스처리기술의 글로벌 기업 에드워드 코리아는 ‘Sustainability through collaboration’ & ‘Enabling Innovation by localization’이라는 슬로건과 함께 제품을 시연하고 있다.
이번 세미콘 코리아에서 에드워드 코리아는 펌프의 주요품인 로터와 스테이터를 보호해 기존 플레이팅 기술의 한계점을 극복한 에드워드의 XCEDE 기술이 접목된 ‘iXM1800 XCEDE’ 건식 펌프 와 기존 ‘iXH시리즈’ 제품 대비 더욱 기능을 향상한 신제품 ‘iXH6550HTX’를 방문객에 선보였다.
국내 양산을 시작한 STP-iX3006CV 터보 분자 펌프 소개외에도 반도체 공정에서의 탄소저감 중요성과 에드워드의 ESG 활동을 소개했다.
에드워드 코리아 윤재홍 대표이사는 “코로나로 인해 2년간 진행하지 못했던 세미콘 코리아가 올해 3년만에 열려, 에드워드의 최적의 솔루션을 고객에게 보일 수 있어 기쁘다”라며 “앞으로도 높은 고객 만족 실현을 위해 지속가능한 경영을 펼치면서 다양한 솔루션을 제공할 것"이라고 말했다.
전시기간 동안 에드워드는 세미콘 코리아 온라인 컨퍼런스를 통해 ▲서브 팹(SubFab)과 클린룸(Cleanroom) 간의 지속 가능한 운영을 위한 팹 운영기준(Fab Metrics) ▲넷 제로(Net Zero) 2050–에치(Etch) 공정에서의 저탄소 배출의 중요성을 공유한다.