진공·압력 기술 공급하는 글로벌 기업 부쉬코리아 최윤진 대표에게 듣는다 식품·화학, 병원, 발전, 제약, 2차전지 등 일반 산업의 마켓 리더로 사업 영역 확대 부쉬(BUSCH)는 모든 산업 분야에 걸쳐 진공과 압력 기술을 공급하는 글로벌 기업이다. 전 세 44개 국가에 65개 지사를 두고 있다. 본사는 독일 바덴뷔르템베르크 주 마르부르크(Maulburg)에 위치해 있으며 BUSCH 家의 가족 기업이다. 한국은 경기도 이천에 부쉬코리아와 부쉬 매뉴팩쳐링 코리아가 자리하고 있다. 부쉬코리아는 독일, 스위스, 영국 제조사에서 제조한 진공펌프에 국내에서 설계 제작한 열교환기, 모터, 파이프, 악세서리류 및 전장시스템을 추가해 토탈 진공 솔루션을 완성시켜 고객에게 각 산업 현장에 최적의 진공 솔루션을 제공하는 영업 회사다. 부쉬 매뉴팩쳐링 코리아는 반도체, 디스플레이, 태양광, 2차전지 산업에 특화된 진공펌프만을 제조하는 기업이다. 각 나라에 있는 글로벌 부쉬 인터컴퍼니가 고객이다. 다시 말하면, 부쉬미국이 인텔에서 수주하고, 부쉬일본이 도시바에서 수주하고, 부쉬차이나가 BOE에서 수주하고, 부쉬코리아가 삼성에서 수주하면, 각 글로벌 영업회사가 부쉬 매뉴팩쳐링 코리아에 오더를 준다. 반면, 일반산업의 펌프는 유럽에 있는 제조사에서 생산하고 있는데, 케미컬 산업용 펌프는 스위스 제조사에서, 발전소용 펌프는 영국제조사에서, 식품포장 및 병원용 펌프는 독일제조사에서 공급한다. 한국만 유일하게 진공 솔루션 영업 회사와 진공펌프 제조사가 모두 구축된 나라다. 그만큼 전 세계에서 대한민국의 위상이 상당하다는 것을 방증한다. 부쉬코리아는 1986년도에 국내에 진출, 초기에 서울 방배동에서 로컬 에이전시로 국내판매를 시작했다. 식품포장분야에서 마켓리더로 성장하고, 1991년에 반도체, 디스플레이 시장에 진출을 시작하면서, 2000년에는 용인에 시스템 공장과 서비스공장을 세우고, 본격적으로 병원, 화학, 발전 진공 시스템 사업에 진출했다. 2010년 현재의 이천공장으로 확장 이전했다. 식품, 화학, 병원, 발전, 제약, 2차전지 등 순차적으로 일반 산업의 마켓 리더로 사업 영역을 확대하고 있다. 2012년에는 부쉬 매뉴팩처링 코리아를 설립해, 반도체, 디스플레이 업계로 사업을 넗혔다. 그룹 본사는 부쉬 매뉴팩처링 코리아 제조사 뿐만 아니라, R&D 센터까지 아낌없이 지원하기 때문에, 부쉬코리아 등의 전세계 반도체, 디스플레이, 태양광 사업을 하은 각 나라의 영업회사를 최대한 지원한다. 부쉬코리아가 가장 큰 수혜를 입었다. 부쉬그룹 50주년 행사를 부쉬코리아에서 시행해 한국직원에게 그룹 오너가 무한 자부심을 선물했다. 다른 글로벌 기업과 달리 지난 20년 동안 수익이 창출되면 본사로 송금하게 하지 않고, 국내에 재투자 시켜, 지역사회 발전에 이바지할 수 있도록 고용 재창출에 노력하고 있다. 이 또한 무한신뢰성을 기반으로 사업을 지속하고 있는 부쉬의 기업정신을 잘 알 수 있다.진공·압력 기술 공급하는 글로벌 기업 부쉬코리아 최윤진 대표다음은 부쉬코리아 최윤진 대표와의 일문일답.-. 코로나 이후 오랜만에 전시회에 뵙게 됐다. 이번 SEMICON 전시회에 어떠한 새로운 기술, 또는 신제품을 출품했나? 반도체 분야에 특화된 기술력 또는 노하우는 무엇인가?▲부쉬는 5개의 innovation을 구현했고 이 혁신 제품들을 이번 전시회에 소개하게 됐습니다. 우선, EUV Lithography 공정 설비에 필수적으로 필요한 EUV pre vacuum system이고, 다음으로는 EPI system입니다. 두 설비 모두 진공 pump와 Scrubber를 일체형으로 구현한 system으로 장점으로는 Burn type의 태우는 방식이 아닌 Heating type으로 환경 문제를 유발하는 질소산화물(Nox)과 CO2를 발생하지 않는다. 현재 전세계적 Issue인 탄소저감 방안을 완벽히 구현한 CO2 무배출 설비입니다. 반도체 생산 특수 공정에서 요구하는 고온 및 저온형 공정에 최적화된 펌프입니다. 이외에도 설치공간을 최소화한 Loadlock 건식진공펌프의 BD 0100의 전력소모는 시간당0.4kW/h에 불과합니다. 마지막으로 Batch type의 Diffusion 설비는 무정지 pumping 기능을 구현한 Redundancy 시스템을 구현했는데, 일반산업의 여러 노하우가 적용된 사례입니다. 펌프가 죽더라도 챔버의 압력이 떨어지지 않게 해 웨이퍼 손실이 일어나지 않게해 한배치가 끝날 때까지 압력이 유지되게 한 후 펌프 교체를 하면 되게끔 운용됩니다.최대 3200 m³/h 용량을 갖춘 DS3161B 펌프는 전시회에 직접 선보였고, EUV Pumping System은 사진으로 보였습니다. 부쉬의 COBRA 시리즈는 반도체 산업에 최적화된 건식 스크류 진공 펌프로 BA, BC, DS 등의 모델로 나눠져서 소형부터 대형까지 다양한 용량을 갖추고 있습니다. 최상의 스크류 설계, 작동 품질, 통합 진공 부스터, 화학적 증기 분해, 신속한 열 처리 또는 원자 계층 분해에 적합합니다. 뿐만 아니라, 낮은 전력비용, 최소한의 유지보수, 긴 장비수명, 효율적인 간접 냉각방식, 높은 수소처리 능력, 설치 용이성, 직결식 캔드모터, 컴팩트 프레임에 결합된 부스터로 인해 Performance(성능), Efficiency(효율성), Compact (콤팩트) 3박자를 고루 모두 갖췄습니다.-. 산업용 펌프시장의 경쟁이 치열하다. 부쉬코리아만의 핵심 경쟁력과 차별화 요소를 말해달라▲부쉬는 한국내 일반 산업용 pump 시장에서는 기술력을 인정받고 있습니다. 예를 들어 병원 리던던시 시스템, 발전소 콘덴서 베큠 시스템, 식품 포장 중앙집중시스템, 화학 증류 시스템, 제약 공압이송시스템, 자동차, 플라스틱 Degassing 시스템, 고무 열성형 폐수처리 시스템 등에 수많은 부쉬 진공펌프들이 사용되고 있으며, 전 세계 진공산업 회사 중 업종별로는 규모가 제일 큽니다. 다만 Semicon 시장에서는 그 인지도가 많이 알려져 있지 않은 숨은 강자중의 한 업체입니다. 이번 전시회 참여를 통해 부쉬를 Semicon 업체들에게 알리고 그 기술력을 보여주고자 합니다.반도체 업계만 집중하는 기업들은 오히려 풀지 못하는 노하우를 우리는 파악하고 있는 부분이 있습니다. 특히 우리는 케미컬, 플라스틱 분야에 많은 진공의 물성 노하우를 알고 있습니다. 반도체 또한 결국 재료물성의 일부로써 파악하고 응용할 수 있습니다. 예를 들어서 케미컬은 고온에서 굳는 물질이 있기도 하고, 또 어떤 물질은 저온에서 굳기도 하는 물질이 있습니다. 모든 물질의 녹는점, 끓는점이 각기 다릅니다. 기체로 들어와서 펌프내에서 고체화 되어서 고착되어 펌프가 정지하게되는 원인이 문제인데 그 원인이 모두 물성 분석을 철저히 해서 해야 하는 이유입니다. 그래서 고온 및 저온 최적화 펌프가 필요한 것입니다. 이런 노하우는 일반산업의 각 산업분야에서 얻은 여러 노하우인데 반도체라서 근본적으로 다를 수 없는 물리화학입니다. 부쉬는 저온 펌프를 만들 때도 일반적으로 냉각수를 많이 흐르게만 해 열을 내리는 방식이 아닙니다. 쉬운 예로 자동차 엔진이 200℃ 이상의 온도로 가열 시 인위적으로 냉각 시스템을 돌려서 온도를 맞춰야 됩니다. 그런데 부쉬는 스크류 원천 기술을 가지고 있기 때문에, 냉각시스템에 의존하기보다는, 근원적인 스크류 디자인을 바꿉니다. 공기흐름과 압력배압 차이의 변경으로 펌프의 내부 온도가 실제 80도 이하로 구현이 됩니다. 230℃ 이상의 고온 펌프도 마찬가지로 스크류 디자인의 변경으로 구현시킵니다. 반도체 업계에서 요구하는 온도 컨트롤 펌프를 부쉬가 만들 수 있는 것은 고음 펌프 및 저온 범프를 스크류 내부 디자인을 변경해서 만들수 있는 고유의 특화된 기술을 갖고 있기 때문입니다.ASML의 극자외선(EUV, extreme ultraviolet) 공정은 고객 반도체라인 중 제일 고가의 혁신 장비입니다. 반도체 레이저 리소그라피 공정에 꼭 장비가 펌핑 시스템입니다. Busch EUV Pumping System은 네델란드의 ASML의 감독아래 설계부터 제조까지 엄격한 관리하에 검증을 받으며, 검수 받고 Qualification을 받았습니다. 그 과정만 거의 4년이 걸렸습니다. 첫째 기존 Burn-wet 방식으로 처리하는 환경문제, 즉 펌핑 작업을 하면서 나오는 이물질을 모두 연소해 이산화탄소(CO2)와 산화질소(NOx) 많이 발생하는 문제를 근원적으로 없앴습니다. NOX/CO2 배출이 없으므로 이를 처리하기 위한 폐수 처리시설이 필요 없습니다. 둘째 가동 중 한 대의 펌프가 정지되거나, 2대의 스크러버 모두 Down되더라도 EUV 메인 설비가 절대 Down되지 않습니다. 셋째, 정지한 펌프나 스크러버의 교체를 EUV 메인 설비를 세우지 않고도 할 수 있도록 해 100% Uptime 을 할 수 있는 HOW SWAP 기능을 ASML은 집중으로 검증했고, 완벽한 성능을 보였습니다. 넷째 완벽한 운전 수소 안전성능입니다. 운전시 H2 배기는 10 PPM으로 기준치인 4 %보다 낮아야 하는데, 1/4000배만큼 낮습니다. 다섯째 완벽한 비상운전 안전성능입니다. 스크러버 두대가 모두 죽는 경우에도 잔류 수소가 모두 수소 폭발기준 안전하게 Dilution 되도록 설계되어 있습니다. 이 경우도 0.08%로 기준치 4 % 대비 1/50배만큼 낮습니다.-. 타 산업 분야에서 원천적인 펌프 기술을 반도체 분야에도 적용 및 개발하게 된 배경은?▲병원에 납품하는 펌프는 절대 정지하면 안됩니다. 수술 중 장비가 정지하면 사람이 죽을 수 있기 때문입니다. 병원에서는 호흡기 이물질을 지속적인 석션(Suction)으로 인공 호흡을 도와주어야 합니다. 수술 중 피를 석션해야 하는데 사람이 죽었다는 말을 들어본적이 있습니까? 국내 대학병원이나, 대형벼원 70%에 부쉬진공시스템이 설치되어 있기 때문입니다. 가동중인 펌프가 정지될 경우에, 대기하고 있던 보조펌프가 바로 기동하는 리던던시(Redundancy) 기능을 갖추고 있는데, 여기서 중요한 점은 두 펌프 간의 기동 변화로 압력 편차가 발생한다는 점입니다. 이 미세한 편차가 발생하지 않게 하는 것이 기술입니다. 그래야 펌프가 멈추더라도 고객의 공정에는 아무 문제없이 공정진행을 할 수 있습니다. 기존 병원에서 활용되던 리던던시 시스템 기술을 반도체 분야에도 동일한 원리로 적용한 것이 Batch 시스템에 적용한 리던던시 시스템 펌프입니다. 반도체 분야는 부쉬는 후발 주자이지남 다른 일반 산업 분야에서만큼은 독보적인 기술과 노하우를 바탕으로 많은 공정에서 혁신을 이끌 수 있을 것으로 기대하고 있습니다. -. 올해 부쉬에서 현재 진행 중이거나 예정인 활동 또는 프로젝트가 있는지국내 유명 반도체 모 생산 기업에서 부쉬사 여러 펌프에 대한 평가를 진행하고 있고, 평가 수량등에 대해 공식적으로 공개하기는 고객사 입장이 있어 곤란합니다. 다만 많은 공정에서 긍정적으로 평가받고 있고 의뢰가 오고 있는 상황입니다. 특히 저전력 펌프, 고온/저온펌프, 리던던시 펌프 및 EPI SYSTEM, EUV Pumping System등을 주력하고 있습니다. 부쉬 만의 독보적인 기술로 평가 기회가 하나씩 패스하면 곧 업계에서 인정받게 되고 더 많은 기회가 열릴 것으로 예상하고 있습니다.

진공·압력 기술 공급하는 글로벌 기업 부쉬코리아 최윤진 대표에게 듣는다

식품·화학, 병원, 발전, 제약, 2차전지 등 일반 산업의 마켓 리더로 사업 영역 확대

기사입력 2022-02-15 10:02:43

[산업일보]
부쉬(BUSCH)는 모든 산업 분야에 걸쳐 진공과 압력 기술을 공급하는 글로벌 기업이다. 전 세 44개 국가에 65개 지사를 두고 있다. 본사는 독일 바덴뷔르템베르크 주 마르부르크(Maulburg)에 위치해 있으며 BUSCH 家의 가족 기업이다.

한국은 경기도 이천에 부쉬코리아와 부쉬 매뉴팩쳐링 코리아가 자리하고 있다.

부쉬코리아는 독일, 스위스, 영국 제조사에서 제조한 진공펌프에 국내에서 설계 제작한 열교환기, 모터, 파이프, 악세서리류 및 전장시스템을 추가해 토탈 진공 솔루션을 완성시켜 고객에게 각 산업 현장에 최적의 진공 솔루션을 제공하는 영업 회사다.

부쉬 매뉴팩쳐링 코리아는 반도체, 디스플레이, 태양광, 2차전지 산업에 특화된 진공펌프만을 제조하는 기업이다. 각 나라에 있는 글로벌 부쉬 인터컴퍼니가 고객이다.

다시 말하면, 부쉬미국이 인텔에서 수주하고, 부쉬일본이 도시바에서 수주하고, 부쉬차이나가 BOE에서 수주하고, 부쉬코리아가 삼성에서 수주하면, 각 글로벌 영업회사가 부쉬 매뉴팩쳐링 코리아에 오더를 준다.

반면, 일반산업의 펌프는 유럽에 있는 제조사에서 생산하고 있는데, 케미컬 산업용 펌프는 스위스 제조사에서, 발전소용 펌프는 영국제조사에서, 식품포장 및 병원용 펌프는 독일제조사에서 공급한다. 한국만 유일하게 진공 솔루션 영업 회사와 진공펌프 제조사가 모두 구축된 나라다. 그만큼 전 세계에서 대한민국의 위상이 상당하다는 것을 방증한다.

부쉬코리아는 1986년도에 국내에 진출, 초기에 서울 방배동에서 로컬 에이전시로 국내판매를 시작했다. 식품포장분야에서 마켓리더로 성장하고, 1991년에 반도체, 디스플레이 시장에 진출을 시작하면서, 2000년에는 용인에 시스템 공장과 서비스공장을 세우고, 본격적으로 병원, 화학, 발전 진공 시스템 사업에 진출했다.

2010년 현재의 이천공장으로 확장 이전했다. 식품, 화학, 병원, 발전, 제약, 2차전지 등 순차적으로 일반 산업의 마켓 리더로 사업 영역을 확대하고 있다. 2012년에는 부쉬 매뉴팩처링 코리아를 설립해, 반도체, 디스플레이 업계로 사업을 넗혔다. 그룹 본사는 부쉬 매뉴팩처링 코리아 제조사 뿐만 아니라, R&D 센터까지 아낌없이 지원하기 때문에, 부쉬코리아 등의 전세계 반도체, 디스플레이, 태양광 사업을 하은 각 나라의 영업회사를 최대한 지원한다.

부쉬코리아가 가장 큰 수혜를 입었다. 부쉬그룹 50주년 행사를 부쉬코리아에서 시행해 한국직원에게 그룹 오너가 무한 자부심을 선물했다. 다른 글로벌 기업과 달리 지난 20년 동안 수익이 창출되면 본사로 송금하게 하지 않고, 국내에 재투자 시켜, 지역사회 발전에 이바지할 수 있도록 고용 재창출에 노력하고 있다. 이 또한 무한신뢰성을 기반으로 사업을 지속하고 있는 부쉬의 기업정신을 잘 알 수 있다.
진공·압력 기술 공급하는 글로벌 기업 부쉬코리아 최윤진 대표

다음은 부쉬코리아 최윤진 대표와의 일문일답.

-. 코로나 이후 오랜만에 전시회에 뵙게 됐다. 이번 SEMICON 전시회에 어떠한 새로운 기술, 또는 신제품을 출품했나? 반도체 분야에 특화된 기술력 또는 노하우는 무엇인가?
▲부쉬는 5개의 innovation을 구현했고 이 혁신 제품들을 이번 전시회에 소개하게 됐습니다. 우선, EUV Lithography 공정 설비에 필수적으로 필요한 EUV pre vacuum system이고, 다음으로는 EPI system입니다. 두 설비 모두 진공 pump와 Scrubber를 일체형으로 구현한 system으로 장점으로는 Burn type의 태우는 방식이 아닌 Heating type으로 환경 문제를 유발하는 질소산화물(Nox)과 CO2를 발생하지 않는다. 현재 전세계적 Issue인 탄소저감 방안을 완벽히 구현한 CO2 무배출 설비입니다. 반도체 생산 특수 공정에서 요구하는 고온 및 저온형 공정에 최적화된 펌프입니다. 이외에도 설치공간을 최소화한 Loadlock 건식진공펌프의 BD 0100의 전력소모는 시간당0.4kW/h에 불과합니다. 마지막으로 Batch type의 Diffusion 설비는 무정지 pumping 기능을 구현한 Redundancy 시스템을 구현했는데, 일반산업의 여러 노하우가 적용된 사례입니다. 펌프가 죽더라도 챔버의 압력이 떨어지지 않게 해 웨이퍼 손실이 일어나지 않게해 한배치가 끝날 때까지 압력이 유지되게 한 후 펌프 교체를 하면 되게끔 운용됩니다.

최대 3200 m³/h 용량을 갖춘 DS3161B 펌프는 전시회에 직접 선보였고, EUV Pumping System은 사진으로 보였습니다. 부쉬의 COBRA 시리즈는 반도체 산업에 최적화된 건식 스크류 진공 펌프로 BA, BC, DS 등의 모델로 나눠져서 소형부터 대형까지 다양한 용량을 갖추고 있습니다. 최상의 스크류 설계, 작동 품질, 통합 진공 부스터, 화학적 증기 분해, 신속한 열 처리 또는 원자 계층 분해에 적합합니다. 뿐만 아니라, 낮은 전력비용, 최소한의 유지보수, 긴 장비수명, 효율적인 간접 냉각방식, 높은 수소처리 능력, 설치 용이성, 직결식 캔드모터, 컴팩트 프레임에 결합된 부스터로 인해 Performance(성능), Efficiency(효율성), Compact (콤팩트) 3박자를 고루 모두 갖췄습니다.

-. 산업용 펌프시장의 경쟁이 치열하다. 부쉬코리아만의 핵심 경쟁력과 차별화 요소를 말해달라
▲부쉬는 한국내 일반 산업용 pump 시장에서는 기술력을 인정받고 있습니다. 예를 들어 병원 리던던시 시스템, 발전소 콘덴서 베큠 시스템, 식품 포장 중앙집중시스템, 화학 증류 시스템, 제약 공압이송시스템, 자동차, 플라스틱 Degassing 시스템, 고무 열성형 폐수처리 시스템 등에 수많은 부쉬 진공펌프들이 사용되고 있으며, 전 세계 진공산업 회사 중 업종별로는 규모가 제일 큽니다. 다만 Semicon 시장에서는 그 인지도가 많이 알려져 있지 않은 숨은 강자중의 한 업체입니다. 이번 전시회 참여를 통해 부쉬를 Semicon 업체들에게 알리고 그 기술력을 보여주고자 합니다.

반도체 업계만 집중하는 기업들은 오히려 풀지 못하는 노하우를 우리는 파악하고 있는 부분이 있습니다. 특히 우리는 케미컬, 플라스틱 분야에 많은 진공의 물성 노하우를 알고 있습니다. 반도체 또한 결국 재료물성의 일부로써 파악하고 응용할 수 있습니다. 예를 들어서 케미컬은 고온에서 굳는 물질이 있기도 하고, 또 어떤 물질은 저온에서 굳기도 하는 물질이 있습니다. 모든 물질의 녹는점, 끓는점이 각기 다릅니다. 기체로 들어와서 펌프내에서 고체화 되어서 고착되어 펌프가 정지하게되는 원인이 문제인데 그 원인이 모두 물성 분석을 철저히 해서 해야 하는 이유입니다. 그래서 고온 및 저온 최적화 펌프가 필요한 것입니다. 이런 노하우는 일반산업의 각 산업분야에서 얻은 여러 노하우인데 반도체라서 근본적으로 다를 수 없는 물리화학입니다. 부쉬는 저온 펌프를 만들 때도 일반적으로 냉각수를 많이 흐르게만 해 열을 내리는 방식이 아닙니다. 쉬운 예로 자동차 엔진이 200℃ 이상의 온도로 가열 시 인위적으로 냉각 시스템을 돌려서 온도를 맞춰야 됩니다. 그런데 부쉬는 스크류 원천 기술을 가지고 있기 때문에, 냉각시스템에 의존하기보다는, 근원적인 스크류 디자인을 바꿉니다. 공기흐름과 압력배압 차이의 변경으로 펌프의 내부 온도가 실제 80도 이하로 구현이 됩니다. 230℃ 이상의 고온 펌프도 마찬가지로 스크류 디자인의 변경으로 구현시킵니다. 반도체 업계에서 요구하는 온도 컨트롤 펌프를 부쉬가 만들 수 있는 것은 고음 펌프 및 저온 범프를 스크류 내부 디자인을 변경해서 만들수 있는 고유의 특화된 기술을 갖고 있기 때문입니다.

ASML의 극자외선(EUV, extreme ultraviolet) 공정은 고객 반도체라인 중 제일 고가의 혁신 장비입니다. 반도체 레이저 리소그라피 공정에 꼭 장비가 펌핑 시스템입니다. Busch EUV Pumping System은 네델란드의 ASML의 감독아래 설계부터 제조까지 엄격한 관리하에 검증을 받으며, 검수 받고 Qualification을 받았습니다. 그 과정만 거의 4년이 걸렸습니다. 첫째 기존 Burn-wet 방식으로 처리하는 환경문제, 즉 펌핑 작업을 하면서 나오는 이물질을 모두 연소해 이산화탄소(CO2)와 산화질소(NOx) 많이 발생하는 문제를 근원적으로 없앴습니다. NOX/CO2 배출이 없으므로 이를 처리하기 위한 폐수 처리시설이 필요 없습니다. 둘째 가동 중 한 대의 펌프가 정지되거나, 2대의 스크러버 모두 Down되더라도 EUV 메인 설비가 절대 Down되지 않습니다. 셋째, 정지한 펌프나 스크러버의 교체를 EUV 메인 설비를 세우지 않고도 할 수 있도록 해 100% Uptime 을 할 수 있는 HOW SWAP 기능을 ASML은 집중으로 검증했고, 완벽한 성능을 보였습니다. 넷째 완벽한 운전 수소 안전성능입니다. 운전시 H2 배기는 10 PPM으로 기준치인 4 %보다 낮아야 하는데, 1/4000배만큼 낮습니다. 다섯째 완벽한 비상운전 안전성능입니다. 스크러버 두대가 모두 죽는 경우에도 잔류 수소가 모두 수소 폭발기준 안전하게 Dilution 되도록 설계되어 있습니다. 이 경우도 0.08%로 기준치 4 % 대비 1/50배만큼 낮습니다.

-. 타 산업 분야에서 원천적인 펌프 기술을 반도체 분야에도 적용 및 개발하게 된 배경은?
▲병원에 납품하는 펌프는 절대 정지하면 안됩니다. 수술 중 장비가 정지하면 사람이 죽을 수 있기 때문입니다. 병원에서는 호흡기 이물질을 지속적인 석션(Suction)으로 인공 호흡을 도와주어야 합니다. 수술 중 피를 석션해야 하는데 사람이 죽었다는 말을 들어본적이 있습니까? 국내 대학병원이나, 대형벼원 70%에 부쉬진공시스템이 설치되어 있기 때문입니다. 가동중인 펌프가 정지될 경우에, 대기하고 있던 보조펌프가 바로 기동하는 리던던시(Redundancy) 기능을 갖추고 있는데, 여기서 중요한 점은 두 펌프 간의 기동 변화로 압력 편차가 발생한다는 점입니다. 이 미세한 편차가 발생하지 않게 하는 것이 기술입니다. 그래야 펌프가 멈추더라도 고객의 공정에는 아무 문제없이 공정진행을 할 수 있습니다. 기존 병원에서 활용되던 리던던시 시스템 기술을 반도체 분야에도 동일한 원리로 적용한 것이 Batch 시스템에 적용한 리던던시 시스템 펌프입니다. 반도체 분야는 부쉬는 후발 주자이지남 다른 일반 산업 분야에서만큼은 독보적인 기술과 노하우를 바탕으로 많은 공정에서 혁신을 이끌 수 있을 것으로 기대하고 있습니다.

-. 올해 부쉬에서 현재 진행 중이거나 예정인 활동 또는 프로젝트가 있는지
국내 유명 반도체 모 생산 기업에서 부쉬사 여러 펌프에 대한 평가를 진행하고 있고, 평가 수량등에 대해 공식적으로 공개하기는 고객사 입장이 있어 곤란합니다. 다만 많은 공정에서 긍정적으로 평가받고 있고 의뢰가 오고 있는 상황입니다. 특히 저전력 펌프, 고온/저온펌프, 리던던시 펌프 및 EPI SYSTEM, EUV Pumping System등을 주력하고 있습니다. 부쉬 만의 독보적인 기술로 평가 기회가 하나씩 패스하면 곧 업계에서 인정받게 되고 더 많은 기회가 열릴 것으로 예상하고 있습니다.