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![[세미콘코리아] 탄소중립·RE100 등에 대응한 진공펌프 선보여](http://pimg.daara.co.kr/kidd/photo/2023/02/03/thumbs/thumb_520390_1675404348_18.jpg)
[산업일보]
탄소 배출을 줄이기 위한 국내 정책 규제와 산업계의 노력이 진행되고 있다. EU의 탄소국경조정제도, RE100, ESG 경영이 대표적이다. 이에 따라 장비 공급기업들도 에너지를 절감할 수 있는 제품 개발에 나서고 있다.
1일부터 3일까지 코엑스 전관에서 개최 중인 세미콘코리아(SEMICON KOREA) 2023에 참가한 ㈜엘오티베큠(LOTVACUUM)도 고효율 및 에너지 절감에 초점을 맞춘 건식진공펌프와 관련 기술력을 선보였다.
건식진공펌프는 반도체, 디스플레이, 태양광, 2차전지 등 첨단 산업 분야에 적용되고 있다.
이성화 부장은 “해외는 물론 국내도 RE100 등 탄소중립 이행에 동참하고 있다. 이에 따라 제품 개발 및 제조할 때도 에너지를 감축할 수 있는 부분에 중점을 두고 있다”라고 말했다.
또한 제품 크기의 소형화와 기능의 복합화 추세에 대해 언급했다. “부식성, 폭발성 등이 높은 가스를 사용하는 수요자의 경우 범용 제품보다는 다양한 가스특성에 특화된 안전성 및 내구성이 높은 제품을 요구하고 있다”라고 했다.
한편, SEMICON KOREA 2023은 국제반도체장비재료협회(SEMI)가 주최로, 450개 사가 2천15부스 규모로 참가했다. 전시회와 함께 20여 개의 컨퍼런스를 전시기간 중 진행했다.
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