[세미콘코리아] 레니쇼코리아, CENTRUM™ 금속 로터리 스케일 처음 공개

[산업일보]
글로벌 계측 회사인 Renishaw는 지난 1일 서울 코엑스에서 열린 반도체 산업 전시회 '세미콘 코리아 2023(Semicon Korea 2023)에 참가, ATOM DX™ 엔코더 시리즈를 위한 금속 스케일 디스크인 CENTRUM™ CSF40 스케일을 처음으로 공개했다.

레니쇼(Renishaw)는 2일 개방형 옵티컬 엔코더, 밀폐형 옵티컬 엔코더, 자기 엔코더를 포함한 다양한 Renishaw 엔코더와 기계 캘리브레이션 솔루션 및 Equator™ 플렉서블 게이지를 방문객을 상대로 직접 시연해 보였다.

부스 관계자는 CENTRUM CSF40 스케일 디스크는 적절한 크기의 샤프트에 밀어 넣을 때 스케일을 자동으로 중앙에 맞추는 장착 기능으로 인해 처음부터 빠르고 쉽게 설치할 수 있고, 이러한 정렬 기능을 통해 일관된 설치 정확도를 제공한다고 설명했다.


CENTRUM 스케일 디스크는 디스크를 샤프트에 정렬하기 위해 스프링처럼 작동하는 특수 설계된 플렉서로 인해 빠르고 쉽게 설치할 수 있다다는 이 관계자는 CENTRUM 디스크의 장착은 미리 설정된 토크 값으로 조이는 3개의 볼트를 추가해 완료된다. 추가 게이지 또는 설정 장치가 필요하지 않다고 덧붙였다.

CENTRUM 디스크는 탄력 있고 세척이 쉬운 견고한 스테인리스 스틸로 제작됐다. 40미크론 피치 증분 눈금이 있는 CSF40 디스크는 외부 직경이 38.4mm에서 120mm까지 다양한 크기로 제공한다.

레니쇼코리아 장유권 대표는 "CENTRUM CSF40은 로터리 엔코더 스케일 설치의 속도와 용이성을 향상시키기 위해 3쌍의 최적화된 정렬 플렉셔를 통합한다. CSF40 디스크는 자동 정렬되며 엔코더 디스크를 수동으로 정렬할 필요가 없으므로 설치 시간이 크게 단축되고 조립 프로세스를 간소화 했다"면서 디스크 설계는 가능한 가장 작은 패키지에서 최고의 성능을 보장하도록 최적화했다고 전했다.

ATOM DX는 판독 헤드에서 직접 디지털 출력을 제공하는 레니쇼의 가장 작은 증분형 옵티컬 엔코더로 부피가 큰 인터페이스가 필요하지 않다. 이 새로운 엔코더는 최저 2.5nm의 분해능, 낮은 보간 오차(SDE) 및 낮은 지터를 갖췄다. ATOM DX 판독 헤드는 이 입증된 온보드 보간을 기존 ATOM 시리즈의 고급 필터링 옵틱과 결합한다. 판독 헤드는 20 µm 또는 40 µm 스케일 피치를 선택할 수 있는 ATOM 시리즈 고정밀 엔코더 스케일과 호환된다.

FORTiS 밀폐형 리니어 앱솔루트 엔코더 시리즈는 공작 기계와 같은 열악한 환경에서 사용하도록 설계됐다. 또한 최대 SiL2 및 PLd의 기능 안전 애플리케이션에도 사용할 수 있다. 판독 헤드 본체는 엔코더 길이를 따라 DuraSeal™ 립 씰을 통해 이동하는 블레이드에 의해 밀봉된 광학 장치에 결합된다. 선형 축 이동으로 인해 판독 헤드와 옵틱이 기계적 접촉 없이 엔코더의 절대 스케일(인클로저 내부에 고정)을 통과한다.

고급 반도체 산업에서 부품 공차에 대한 요구가 증가함에 따라 제조업체는 이제 부품을 생산하는 기계의 모든 오류 원인을 고려해야 한다. 각도 오류 및 선형 및 진직도 오류. XM-60은 특허받은 광학 롤 측정 및 광섬유 발사 시스템과 함께 고유한 기술을 통합하고 단일 설정에서 이러한 모든 오류를 캡처할 수 있는 레이저 시스템을 탑재했다.

이번 세미콘코리아에서 Equator 300 측정 시스템의 라이브 데모도 진행했다. Equator 시스템은 반도체 부품 검사를 위한 속도, 반복성 및 사용 편리성을 제공하도록 설계된 유연한 작업 현장 게이지로 온도 변화에 상관없이 5ºC~50ºC 범위에서 정확하며 200mm/s를 빠른 속도로 제조업체가 검사 문제를 해결하고 생산 목표를 달성할 수 있다.