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[심토스 2022] 웨이퍼 연삭 돕는 장비, 이물질 유입도 차단

한즈모트롤, SIMTOS 2022에서 CAM TABLE 전시

기사입력 2022-05-26 11:50:57
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[심토스 2022] 웨이퍼 연삭 돕는 장비, 이물질 유입도 차단

[산업일보]
23일부터 27일까지 일정으로 경기도 고양시 일산 킨텍스에서 열리고 있는 심토스(생산제조기술 전시회, SIMTOS 2022)에 참가한 한즈모트롤이 고속 연삭 전용 CAM TABLE을 전시했다.

최재영 한즈모트롤 차장은 “반도체 연삭 공정에서 웨이퍼를 평탄하게 만드는 작업을 진행할 때 사용한다”면서 “에어커튼을 활용해 소재 특성에 따른 가공분진, 절삭유 등의 유입을 차단할 수 있다”고 말했다.

한편, 한국공작기계산업협회가 주최한 심토스는 29개국 854개 업체, 4천825부스 규모의 전시회다.



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