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고순도 불화수소에 대한 일본 수출규제, 기체·고체 모두 포함

디스플레이 분야부터 국산화 추진 돌입 예상돼

고순도 불화수소에 대한 일본 수출규제, 기체·고체 모두 포함


[산업일보]
일본 정부가 수출 규제 품목을 모호하게 명시하면서 일부 국내 업체에 대한 수혜 논란이 발생하고 있다. 일본 정부는 고순도 불화수소(에칭가스)로 규제 품목을 언급했으나 실제 고순도 기체와 더불어 액체 불화수소도 규제 대상에 포함돼 있어국내 고순도 액체 불화수소 정제 기술을 보유한 솔브레인과 고순도 기체 불화수소 원재료를 제조하는 후성이 수혜를 볼 것이라는 것이 전문가들의 전망이다.

일본이 1차 3개 품목 규제에 이어 화이트리스트에서 한국 제외 시 추가 857개 품목 수출 규제가 현실화된다. 규제 대상도 원자력, 첨단소재, 전자기기, 센서 등 광범위하고 Catch All 제도에 따라 일본의 자의적으로 품목 지정이 가능해진다.

따라서 국내 반도체/디스플레이업체는 불확실성을 줄이기 위해 일본산 소재 비중을 줄이고 국산 소재 비중을 늘일 것으로 전망된다.

고순도 불화수소 제조 공정을 살펴보면, 형석(CaF2)에 황산(H2SO4)을 반응시켜 기체 무수불산 (AHF; Anhydrous Hydrogen Fluoride)을 제조한 후, 이를 정제해 액체 혹은 기체 형태 고순도 불화수소(High Purity Hydrogen Fluoride)를 제조하게 된다. 참고로 불화수소의 끓는점은 약 20도로 상온에서는 기체 상태이다.

고순도 불화수소는 반도체 세정 및 식각(etch) 공정에 사용되거나, 일부 첨가제를 섞어 불산계 Etchant를 제조한 뒤 실리콘 산화막 두께를 줄이거나 불순물을 제거하는 데 사용되는데, 이번 일본 규제 품목은 액체와 기체 형태의 고순도 불화수소이다.

현재 두 품목은 일본 Stella Chemifa와 Morita Chemical이 과점하고 있는데, 일본 수출 규제로 국내 수입이 중단된 상황이다.

이에 국내 반도체 및 디스플레이 업계 고순도 불화수소 국산화 시도를 본격화하고 있는데 상대적으로 공정 기술 난이도가 낮은 디스플레이부터 국산화가 이뤄질 것으로 업계에서는 기대하고 있다.

우선, 액체 형태 고순도 불화수소는 국내 솔브레인이 고순도 불화수소 양산 기술을 보유하고 있는 것으로 알려져 있으며 전방 반도체 및 디스플레이 고객사와 함께 광범위한 국산화 테스트를 진행 중이다.

기체 형태 고순도 불화수소의 경우 국내에는 양산 기업이 없다. 다만 기체 고순도 불화수소 원재료인 무수불산의 경우 국내 후성이 양산 중이다. 이에 최근 전방 반도체 고객사와 함께 무수불산을 반도체 일부 공정에 적용하기 위한 테스트 중인 것으로 알려졌다.
김진성 기자 weekendk@kidd.co.kr

안녕하세요~산업1부 김진성 기자입니다. 스마트공장을 포함한 우리나라 제조업 혁신 3.0을 관심깊게 살펴보고 있으며, 그 외 각종 기계분야와 전시회 산업 등에도 한 번씩 곁눈질하고 있습니다.

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